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四探針測試儀 薄膜電阻測定儀 型號: SZT-2A

發(fā)布時間: 2016-01-19  點(diǎn)擊次數(shù): 604次
 


四探針 四探針測試儀 薄膜電阻測定儀 型號: SZT-2A
1.SZT-2A 主機(jī)采用的電路設(shè)計(jì),所測數(shù)值更精、更快、更準(zhǔn)(一代為傳統(tǒng)式電路,缺點(diǎn):體積大,速度慢,元器件繁多導(dǎo)致影響機(jī)器壽命)。
2.屏幕采用液晶顯示(一代為只有數(shù)碼管顯示)。
3.匹配電腦接口及軟件,讓操作簡便明了化(可直接連接電腦,電腦進(jìn)行自動運(yùn)算根據(jù)輸入厚度,自動比照并修正系數(shù),使被測結(jié)果更,數(shù)據(jù)可儲藏或刪除,利于使用方保存記錄)。
4.二代的測試架采用自動傳感裝置,接近被測物體時實(shí)行自動減速,避免了被測物體的損耗和探頭的磨損(于國內(nèi)市場上任何一款同類產(chǎn)品的測試架,老一代為手動)。 5. 本儀器測試電阻、電阻率、方塊電阻時,標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)為機(jī)器自帶自調(diào),無需另外手工調(diào)整,省去了原儀器的諸多麻煩。
6. 本儀器的zui小分辨率為0.1mΩ
7.主機(jī)帶有手自一體功能
8.測試探頭為鎢針,市場上多為高速鋼針。
9.每次測量均有內(nèi)置計(jì)算機(jī)自動進(jìn)行溫度補(bǔ)償及電壓電流矯正。
10.整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤ 2%(國內(nèi)其它廠家誤差為≤ 5% )
11. 技術(shù)參數(shù):
1). 測量范圍:
電阻率:10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω
2). 可測半導(dǎo)體材料尺寸
直徑:5mm-130mm
長度:≤400mm
3). 測量方法:
軸向、斷面均可
4). 顯示方式:41/2,數(shù)顯,性、過載自動顯示,小數(shù)點(diǎn)、單位自動顯示。
5). 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA連續(xù)可調(diào)。
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數(shù)±1個字
6).四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機(jī)械游移率:±1.0%
7).電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
8) SZT-2A 分為帶電腦接口和不帶電腦接口的兩種,帶接口功能為當(dāng)硅片的厚度<1mm時自動修正讀數(shù),使得測量出的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率為99%,被測試的數(shù)據(jù)自動生成表格并可以打印,可以隨時保存和刪除.

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